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    • 國奧高精力控音圈電機,直擊MEMS激光雷達量產核心

      National Olympic high energy voice coil motor

      根據當前業內標準,汽車的自動駕駛功能可分為 L0 到 L5六個級別。每一個級別的上升都意味著,ADAS(高級駕駛輔助系統需具備更靈敏的探測性和對更龐雜數據的快速處理能力,以達到更安全穩定的駕駛體驗。





      目前大多數汽車廠商在設計 L2 級汽車時,一般采用“多個雷達+攝像頭傳感器”的組合,但要達到 L3 及更高級別,還需要其他傳感器的輔助,其中最受關注的就是LIDAR(激光雷達)



      LIDAR(激光雷達)



      LIDAR能在1秒內發射高達數百萬的脈沖光,形成龐大的點云,繪制出物體的精確輪廓,從而構建出周圍環境的三維模型。能比攝像頭構建更真實的3D環境,比毫米波雷達具有更準確的物體識別能力。





      當前,LIDAR 已被開發為 ADAS 的重要組成部分



      根據結構,激光雷達可以分為兩大類:機械式激光雷達和固態激光雷達。機械式的裝配困難、掃描頻率低;固態激光雷又可分為MEMS半固態激光雷、Flash固態激光雷和OPA固態激光雷三種。


      其中,MEMS半固態激光雷達是當前的市場主流,被認為是量產的首選。







      原因在于,MEMS半固態激光雷達本質是一種硅基半導體元件,采用半導體工藝生產,即把所有的機械部件集成到單個芯片上,工藝制程并不高,技術成熟、成本低,且微鏡震幅小、頻率高,相對而言量產難度較低。



      MEMS制造工藝



      目前比較常用的MEMS制造工藝是表面微加工(Surface Micro Machining),通過三維堆疊技術把器件固定在硅晶圓上,與IC生產工藝兼容,集成度較高。


      但是,MEMS制造工藝的量產率較IC制造工藝更低。






      這是由于MEMS是一種三維機械結構,而IC則是平面結構,封裝難度更高;而且MEMS器件對于光、磁、熱、力等外部因素更加敏感,MEMS激光雷達還需達到車規級標準,因而對生產設備和生產環境的要求更為苛刻。





      僅從“力”“位移”這二個變量來看,在MEMS微鏡的封裝和微鏡元件的貼裝過程中對MEMS器件進行取放時,真空負壓吸嘴的定位精度和重復性,拾取和放置的力度,以及停留的時間等,都是需要重點注意的問題。





      目前,MEMS產品的封裝需要定制特殊形狀及材料的吸嘴,配合10g~30g的取放力度,來保證封裝過程中MEMS芯片無壓傷或隱裂等情況的發生。







      精細可控的鍵合壓力,降低損耗


      國奧直線旋轉電機帶有“軟著陸”功能,可實現±1.5g以內的穩定力度控制,支持速度、加速度


      及力度控制的程序化設定,使貼裝頭能夠以非常輕的壓力觸碰MEMS元件,降低損耗。




      | 高精度對位、貼片,保證良率


      微米級位置反饋,獲取精準數據,±0.01N力控精度,±2μm直線重復定位精度,±0.01°旋轉重


      復定位精度,徑向偏擺小于10μm,編碼器分辨率標準1μm,可在高速運行狀態下仍穩定輸出,


      提升良率及可靠性。



      | 突破式Z軸設計,提升速度


      采用一體化高度集成設計,將傳統“伺服馬達+滾珠絲桿”合二為一,解決了Z軸自重負載問題,


      中空Z軸高速取放,推力曲線平滑,峰值推力8-50N,有效行程10-50mm ,超高循環壽命,實


      現高效生產。









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